METHOD OF EXTRACTING COMPONENTS FROM STEAM-GAS MIXTURES FORMED DURING PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE SILICON

FIELD: chemistry.SUBSTANCE: invention relates to production of polycrystalline silicon. In process of producing silicon are formed steam-gas mixtures containing vapour of chlorosilanes, hydrogen and hydrogen chloride. For extraction of chlorosilanes, hydrogen and hydrogen chloride, method comprises preliminary fractional condensation in heat exchangers and subsequent separation of remaining part of chlorosilanes and other components of mixture by absorption, desorption and rectification. According to method for cooling working medium at all stages of its processing, coolant used is silicon tetrachloride, obtained from processed working medium.EFFECT: invention improves efficiency of process.1 cl, 1 dwg Изобретение относится к производству поликристаллического кремния. В процессе получения кремния образуются парогазовые смеси, содержащие пары хлорсиланов, водород и хлористый водород. Для извлечения хлорсиланов, водорода и хлористого водорода производят предварительную фракционную конденсацию в теплообменниках и последующее разделение оставшейся части хлорсиланов и других компонентов смеси методами абсорбции, десорбции и ректификации. Согласно способу для охлаждения рабочей среды на всех этапах ее переработки в качестве хладоносителя используют тетрахлорид кремния, получаемый из перерабатываемой рабочей среды. Изобретение обеспечивает повышения эффективности процесса. 1 ил.