PRE-COLLAPSED CAPACITIVE MICRO-MACHINED TRANSDUCER CELL WITH PLUG
FIELD: machine building.SUBSTANCE: present invention relates to pre-collapsed capacitive micro- machined transducer cell (10) comprising substrate (12) and membrane (14) covering total membrane area (A), wherein cavity (20) is formed between membrane (14) and substrate (12), membrane (14) comprising...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , , , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; rus |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| container_end_page | |
|---|---|
| container_issue | |
| container_start_page | |
| container_title | |
| container_volume | |
| creator | KHENNEKEN Vinsent Adrianus LEUVENSTEJN Adrian MARSELIS Bout FREJZER Dzhon Duglas DIRKSEN Peter DEKKER Ronald |
| description | FIELD: machine building.SUBSTANCE: present invention relates to pre-collapsed capacitive micro- machined transducer cell (10) comprising substrate (12) and membrane (14) covering total membrane area (A), wherein cavity (20) is formed between membrane (14) and substrate (12), membrane (14) comprising hole (15) and edge portion (14a) surrounding hole (15), edge portion (14a) of membrane (14) being collapsed to substrate (12). Cell further comprises plug (30) arranged in hole (15) of membrane (14), plug (30) being located only in subarea (A) of total membrane area (A). Present invention further relates to method of manufacturing such pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell (10).EFFECT: technical result - improved pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell, in particular, for high frequencies.14 cl, 4 dwg
Настоящее изобретение относится к ячейке (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, содержащей подложку (12) и мембрану (14), покрывающую полную мембранную область (А), при этом между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), мембрана (14) содержит отверстие (15) и краевую часть (14а), окружающую отверстие (15), причем краевая часть (14а) мембраны (14) прижата к подложке (12). Ячейка дополнительно содержит заглушку (30), размещенную в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в подобласти (А) полной мембранной области (А). Настоящее изобретение дополнительно относится к способу изготовления этой ячейки (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа. Технический результат - улучшение ячейки емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, в частности, для высоких частот. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 4 ил. |
| format | Patent |
| fullrecord | <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_RU2595800C2</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>RU2595800C2</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_RU2595800C23</originalsourceid><addsrcrecordid>eNrjZHAMCHLVdfb38XEMCHZ1UXB2DHB09gzxDHNV8PV0DvLX9XV09vD0A8qEBDn6BbuEOrsGKTi7-vgohHuGeCgE-IS68zCwpiXmFKfyQmluBgU31xBnD93Ugvz41OKCxOTUvNSS-KBQI1NLUwsDA2cjYyKUAACCfiqn</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>PRE-COLLAPSED CAPACITIVE MICRO-MACHINED TRANSDUCER CELL WITH PLUG</title><source>esp@cenet</source><creator>KHENNEKEN Vinsent Adrianus ; LEUVENSTEJN Adrian ; MARSELIS Bout ; FREJZER Dzhon Duglas ; DIRKSEN Peter ; DEKKER Ronald</creator><creatorcontrib>KHENNEKEN Vinsent Adrianus ; LEUVENSTEJN Adrian ; MARSELIS Bout ; FREJZER Dzhon Duglas ; DIRKSEN Peter ; DEKKER Ronald</creatorcontrib><description>FIELD: machine building.SUBSTANCE: present invention relates to pre-collapsed capacitive micro- machined transducer cell (10) comprising substrate (12) and membrane (14) covering total membrane area (A), wherein cavity (20) is formed between membrane (14) and substrate (12), membrane (14) comprising hole (15) and edge portion (14a) surrounding hole (15), edge portion (14a) of membrane (14) being collapsed to substrate (12). Cell further comprises plug (30) arranged in hole (15) of membrane (14), plug (30) being located only in subarea (A) of total membrane area (A). Present invention further relates to method of manufacturing such pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell (10).EFFECT: technical result - improved pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell, in particular, for high frequencies.14 cl, 4 dwg
Настоящее изобретение относится к ячейке (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, содержащей подложку (12) и мембрану (14), покрывающую полную мембранную область (А), при этом между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), мембрана (14) содержит отверстие (15) и краевую часть (14а), окружающую отверстие (15), причем краевая часть (14а) мембраны (14) прижата к подложке (12). Ячейка дополнительно содержит заглушку (30), размещенную в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в подобласти (А) полной мембранной области (А). Настоящее изобретение дополнительно относится к способу изготовления этой ячейки (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа. Технический результат - улучшение ячейки емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, в частности, для высоких частот. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 4 ил.</description><language>eng ; rus</language><subject>FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL ; GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL ; METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY ; PERFORMING OPERATIONS ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2016</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20160827&DB=EPODOC&CC=RU&NR=2595800C2$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20160827&DB=EPODOC&CC=RU&NR=2595800C2$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>KHENNEKEN Vinsent Adrianus</creatorcontrib><creatorcontrib>LEUVENSTEJN Adrian</creatorcontrib><creatorcontrib>MARSELIS Bout</creatorcontrib><creatorcontrib>FREJZER Dzhon Duglas</creatorcontrib><creatorcontrib>DIRKSEN Peter</creatorcontrib><creatorcontrib>DEKKER Ronald</creatorcontrib><title>PRE-COLLAPSED CAPACITIVE MICRO-MACHINED TRANSDUCER CELL WITH PLUG</title><description>FIELD: machine building.SUBSTANCE: present invention relates to pre-collapsed capacitive micro- machined transducer cell (10) comprising substrate (12) and membrane (14) covering total membrane area (A), wherein cavity (20) is formed between membrane (14) and substrate (12), membrane (14) comprising hole (15) and edge portion (14a) surrounding hole (15), edge portion (14a) of membrane (14) being collapsed to substrate (12). Cell further comprises plug (30) arranged in hole (15) of membrane (14), plug (30) being located only in subarea (A) of total membrane area (A). Present invention further relates to method of manufacturing such pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell (10).EFFECT: technical result - improved pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell, in particular, for high frequencies.14 cl, 4 dwg
Настоящее изобретение относится к ячейке (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, содержащей подложку (12) и мембрану (14), покрывающую полную мембранную область (А), при этом между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), мембрана (14) содержит отверстие (15) и краевую часть (14а), окружающую отверстие (15), причем краевая часть (14а) мембраны (14) прижата к подложке (12). Ячейка дополнительно содержит заглушку (30), размещенную в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в подобласти (А) полной мембранной области (А). Настоящее изобретение дополнительно относится к способу изготовления этой ячейки (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа. Технический результат - улучшение ячейки емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, в частности, для высоких частот. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 4 ил.</description><subject>FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL</subject><subject>GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL</subject><subject>METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2016</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZHAMCHLVdfb38XEMCHZ1UXB2DHB09gzxDHNV8PV0DvLX9XV09vD0A8qEBDn6BbuEOrsGKTi7-vgohHuGeCgE-IS68zCwpiXmFKfyQmluBgU31xBnD93Ugvz41OKCxOTUvNSS-KBQI1NLUwsDA2cjYyKUAACCfiqn</recordid><startdate>20160827</startdate><enddate>20160827</enddate><creator>KHENNEKEN Vinsent Adrianus</creator><creator>LEUVENSTEJN Adrian</creator><creator>MARSELIS Bout</creator><creator>FREJZER Dzhon Duglas</creator><creator>DIRKSEN Peter</creator><creator>DEKKER Ronald</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20160827</creationdate><title>PRE-COLLAPSED CAPACITIVE MICRO-MACHINED TRANSDUCER CELL WITH PLUG</title><author>KHENNEKEN Vinsent Adrianus ; LEUVENSTEJN Adrian ; MARSELIS Bout ; FREJZER Dzhon Duglas ; DIRKSEN Peter ; DEKKER Ronald</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_RU2595800C23</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; rus</language><creationdate>2016</creationdate><topic>FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL</topic><topic>GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL</topic><topic>METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>KHENNEKEN Vinsent Adrianus</creatorcontrib><creatorcontrib>LEUVENSTEJN Adrian</creatorcontrib><creatorcontrib>MARSELIS Bout</creatorcontrib><creatorcontrib>FREJZER Dzhon Duglas</creatorcontrib><creatorcontrib>DIRKSEN Peter</creatorcontrib><creatorcontrib>DEKKER Ronald</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>KHENNEKEN Vinsent Adrianus</au><au>LEUVENSTEJN Adrian</au><au>MARSELIS Bout</au><au>FREJZER Dzhon Duglas</au><au>DIRKSEN Peter</au><au>DEKKER Ronald</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>PRE-COLLAPSED CAPACITIVE MICRO-MACHINED TRANSDUCER CELL WITH PLUG</title><date>2016-08-27</date><risdate>2016</risdate><abstract>FIELD: machine building.SUBSTANCE: present invention relates to pre-collapsed capacitive micro- machined transducer cell (10) comprising substrate (12) and membrane (14) covering total membrane area (A), wherein cavity (20) is formed between membrane (14) and substrate (12), membrane (14) comprising hole (15) and edge portion (14a) surrounding hole (15), edge portion (14a) of membrane (14) being collapsed to substrate (12). Cell further comprises plug (30) arranged in hole (15) of membrane (14), plug (30) being located only in subarea (A) of total membrane area (A). Present invention further relates to method of manufacturing such pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell (10).EFFECT: technical result - improved pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell, in particular, for high frequencies.14 cl, 4 dwg
Настоящее изобретение относится к ячейке (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, содержащей подложку (12) и мембрану (14), покрывающую полную мембранную область (А), при этом между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), мембрана (14) содержит отверстие (15) и краевую часть (14а), окружающую отверстие (15), причем краевая часть (14а) мембраны (14) прижата к подложке (12). Ячейка дополнительно содержит заглушку (30), размещенную в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в подобласти (А) полной мембранной области (А). Настоящее изобретение дополнительно относится к способу изготовления этой ячейки (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа. Технический результат - улучшение ячейки емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, в частности, для высоких частот. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 4 ил.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
| fulltext | fulltext_linktorsrc |
| identifier | |
| ispartof | |
| issn | |
| language | eng ; rus |
| recordid | cdi_epo_espacenet_RU2595800C2 |
| source | esp@cenet |
| subjects | FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY PERFORMING OPERATIONS TRANSPORTING |
| title | PRE-COLLAPSED CAPACITIVE MICRO-MACHINED TRANSDUCER CELL WITH PLUG |
| url | https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-12-28T18%3A07%3A41IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=KHENNEKEN%20Vinsent%20Adrianus&rft.date=2016-08-27&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3ERU2595800C2%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true |