PRE-COLLAPSED CAPACITIVE MICRO-MACHINED TRANSDUCER CELL WITH PLUG

FIELD: machine building.SUBSTANCE: present invention relates to pre-collapsed capacitive micro- machined transducer cell (10) comprising substrate (12) and membrane (14) covering total membrane area (A), wherein cavity (20) is formed between membrane (14) and substrate (12), membrane (14) comprising hole (15) and edge portion (14a) surrounding hole (15), edge portion (14a) of membrane (14) being collapsed to substrate (12). Cell further comprises plug (30) arranged in hole (15) of membrane (14), plug (30) being located only in subarea (A) of total membrane area (A). Present invention further relates to method of manufacturing such pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell (10).EFFECT: technical result - improved pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell, in particular, for high frequencies.14 cl, 4 dwg Настоящее изобретение относится к ячейке (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, содержащей подложку (12) и мембрану (14), покрывающую полную мембранную область (А), при этом между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), мембрана (14) содержит отверстие (15) и краевую часть (14а), окружающую отверстие (15), причем краевая часть (14а) мембраны (14) прижата к подложке (12). Ячейка дополнительно содержит заглушку (30), размещенную в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в подобласти (А) полной мембранной области (А). Настоящее изобретение дополнительно относится к способу изготовления этой ячейки (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа. Технический результат - улучшение ячейки емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, в частности, для высоких частот. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 4 ил.