METHOD OF HELIUM-NEON LASER COLD CATHODE MAKING

FIELD: technological processes.SUBSTANCE: invention relates to production of helium-neon lasers cold cathodes and can be used in gas-discharge equipment and microelectronics. Method includes heating of cathode billets from aluminium in vacuum of not less than 10mm Hg and subsequent thermal oxidation of its surface, characterised by that cathode billet of chemically pure aluminium is heated in oxygen at rate of 200 °C/h to temperature equal to 300-350 °C, held at this temperature for 1.5 hours and then cooled to room temperature at same rate. Said mode of thermal oxidation provides obtaining acceptable thickness of oxide coating at minimum possible amount of through pores.EFFECT: increased service life of helium-neon laser cold cathode.1 cl, 1 dwg Изобретение относится к технологии изготовления холодных катодов гелий-неоновых лазеров и может быть использовано в газоразрядной технике и микроэлектронике. Способ включает в себя нагрев заготовок катода из алюминия в вакууме не ниже 10мм рт.ст. и последующее термическое окисление ее поверхности, отличающийся тем, что заготовку катода из химически чистого алюминия нагревают в кислороде со скоростью 200°C/час до температуры, равной 300-350°C, выдерживают при данной температуре в течение 1,5 часа и затем охлаждают до комнатной температуры с той же скоростью. Указанный режим термического окисления обеспечивает получение приемлемой толщины окисного покрытия при минимально возможном количестве сквозных пор. Повышение срока службы холодного катода гелий-неонового лазера является техническим результатом изобретения. 1 ил.