ION IMPLANTATION METHOD FOR SURFACES OF PARTS MADE FROM STRUCTURAL STEEL

FIELD: machine building.SUBSTANCE: invention relates to ion-ray vacuum processing of materials, particularly to method of ion implantation of surfaces of parts from structural steel. Method involves treatment of surface of parts with stream of ions of copper, lead and tin using cathode implanter made from monothetic alloy of copper with lead, in which is introduced by contact alloying 7-12% of tin. Implantation is carried out with dose of (5.5-8.5)·10ion/cm. Then nitrogen ions with dose of (0.10...0.25)·D, wherein D is dose of implantation with ions of monothetic alloy of copper with lead equal to 1·10ion/cm.EFFECT: invention can be used in mechanical engineering for increasing wear resistance of parts of machines and mechanisms.1 cl, 3 dwg Изобретение относится к области ионнолучевой вакуумной обработки материалов, в частности к способу ионной имплантации поверхностей деталей из конструкционной стали, и может быть использовано в машиностроении для повышения износостойкости деталей машин и механизмов. Способ включает обработку поверхности деталей потоком ионов меди, свинца и олова с использованием катода имплантера, изготовленного из монотектического сплава меди со свинцом, в который контактным легированием вводят 7-12% олова. Имплантацию осуществляют с дозой (5,5-8,5)·10ион/см. Затем осуществляют имплантацию ионов азота с дозой (0,10...0,25)·D, где D - доза имплантирования ионами монотектического сплава меди со свинцом, равная 1·10ион/см. 3 ил.