MICROMECHANICAL PART OF COMPLEX SHAPE WITH BORE

FIELD: process engineering.SUBSTANCE: invention relates to production of micromechanical part (11, 31, 41) from a one-piece material. Proposed method comprises the steps that follow. a) The substrate is made with the negative cavity to house the micromechanical part. b) Provisional ply is produced at one part of the substrate. c) The particles to make the points of growth are deposited at said substrate. d) Said provisional ply is removed for selective removal of all particles from said one part of the substrate. e) The material ply is deposited with the help of chemical vapour-phase deposition to make the material settle only at the points with particles. f) The substrate is removed to release the micromechanical part made in said negative cavity.EFFECT: preset geometry of micromechanical part, material savings, simplified process.10 cl, 21 dwg Изобретение относится к способу изготовления микромеханической детали (11, 31, 41) из цельного куска материала. Способ включает следующие этапы: a) формирование подложки, которая включает в себя негативную полость для упомянутой изготовляемой микромеханической детали; b) формирование временного слоя на одной из частей подложки; c) осаждение частиц на подложке, которые должны стать точками проращивания; d) удаление временного слоя таким образом, чтобы на одной из частей подложки были выборочно удалены все частицы; e) осаждение слоя материала при помощи химического парофазного осаждения таким образом, чтобы материал осаждался только в тех местах, где остались частицы; f) удаление подложки для освобождения микромеханической детали, образованной в упомянутой негативной полости. Предлагаемый способ позволяет получать микромеханическую деталь со сложной геометрией и проделанными отверстиями с минимальным количеством используемого материала и этапов. 9 з.п. ф-лы, 21 ил.