APPARATUS FOR INSPECTING QUALITY PARAMETERS OF FLAT OPTICAL COMPONENTS ARRANGED AT ANGLE TO OPTICAL AXIS

FIELD: physics.SUBSTANCE: apparatus for inspecting the quality of flat optical components arranged at an angle to an optical axis consists of a transmitting channel, which includes a radiation source which forms two beams lying at a distance from each other with mutually perpendicular linear polarisation states, situated in the focal plane of a lens, a quarter-wave plate, as well as, arranged in series on the radiation path at the lens output, a reference optical plate, an optical component being inspected and a reversible mirror, as well as a receiving channel which includes a beam splitter, followed by a radiation detector consisting of a photodetector array and a linear analyser, which enables to record multiple interference patterns at the same time, which are required for further analysis. The radiation source includes two point sources at a distance ? from each other, perpendicular to the optical axis. The apparatus is adapted to adjust the distance L between the flat reference surface of the reference plate and the reversible mirror according to the limiting condition of the maximum allowable distance:where D is the diameter of the inspected component, f' is the focal distance of the lens, n×n is the number of row and column elements of the photodetector array.EFFECT: minimising measurement error.2 cl, 2 dwg Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно к интерференционным системам и методам контроля качества оптических поверхностей. Устройство для контроля качества плоских оптических деталей, расположенных под углом к оптической оси, состоит из передающего канала, включающего источник излучения, формирующий два пучка, расположенных на расстоянии друг от друга со взаимно перпендикулярными линейными состояниями поляризации, находящихся в фокальной плоскости объектива, четвертьволновую пластину, а также последовательно расположенные по ходу излучения на выходе объектива эталонную оптическую пластину, контролируемую оптическую деталь и возвратное зеркало, а также приемного канала, включающего светоделитель и после него приемник излучения, состоящий из матричного фотоприемника и линейного анализатора, позволяющий регистрировать одновременно несколько интерферограмм, необходимых для дальнейшего анализа. Источник излучения включает два точечных источника, разнесенных на расстояние Δ относительно друг друга перпендикулярно оптической оси. Устройство изготовлено с возможностью регулирования расстояния L между плоской эталонной поверх