METHOD OF PRODUCING NANOSIZED POWDER OF SILICON COMPOUNDS

FIELD: chemistry.SUBSTANCE: method of producing silicon nitride or silicon carbide powder includes preheating a mixture of monosilane with an inert diluent gas and a precursor. Ammonia gas or acetylene is used as the precursor. The reaction mixture is subjected to adiabatic compression until thermal decomposition, which enables to obtain the corresponding silicon compound.EFFECT: invention enables to obtain nanosized powders of silicon compounds consisting of monodispersed particles.4 dwg, 2 ex Изобретение относится к способам получения порошков химических соединений кремния. Способ получения порошков нитрида кремния или карбида кремния включает предварительный нагрев смеси моносилана с инертным газом-разбавителем и прекурсором. В качестве прекурсора используют газообразный аммиак или ацетилен. Реакционную смесь подвергают адиабатическому сжатию до термического разложения, обеспечивающего получение соответствующего соединения кремния. Изобретение позволяет получить наноразмерные порошки соединений кремния, состоящие из монодисперсных частиц. 4 ил., 2 пр.