TWO-DIMENSIONALLY ORDERED STRAIGHT-CHAIN CARBON FILM AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
FIELD: chemistry.SUBSTANCE: invention can be used in electronics, power engineering and medicine. A two-dimensionally ordered straight-chain carbon film is obtained by sputtering through pulsed plasma evaporation of a graphite cathode. The film growing on a substrate, which is formed by parallel cha...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; rus |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | FIELD: chemistry.SUBSTANCE: invention can be used in electronics, power engineering and medicine. A two-dimensionally ordered straight-chain carbon film is obtained by sputtering through pulsed plasma evaporation of a graphite cathode. The film growing on a substrate, which is formed by parallel chains of carbon atoms, simultaneously with sputtering, is stimulated with argon ions and further stabilised with hydrogen ions which are fed during condensation of carbon into the arc-discharge plasma.EFFECT: obtained films have thickness of up to a few micrometres, high anisotropy of electrophysical and physical-chemical properties.6 dwg,1 ex
Изобретение может быть использовано электронике, энергетике и медицине. Плёнку двумерно упорядоченного линейно-цепочечного углерода получают напылением методом импульсно-плазменного испарения графитового катода. Растущую на подложке пленку, образуемую параллельными цепочками углеродных атомов, одновременно с напылением стимулируют ионами аргона и дополнительно стабилизируют ионами водорода, вводимыми в процессе конденсации углерода в плазму дугового разряда. Полученные пленки имеют толщину до нескольких микрон, высокую анизотропию электрофизических и физико-химических характеристик. 6 ил., 1 пр. |
---|