PHOTOIONIZED GAS ANALYZER

FIELD: measurement equipment.SUBSTANCE: invention relates to instruments for measurement of content of volatile substances in air, in particular, to photoionized gas analyzers. A photoionized gas analyzer comprises an ionization chamber (1), a lamp of vacuum ultraviolet radiation (4) with a window (5) for radiation release into the ionization chamber, two gas lines (8) and (9), one of which serves to supply analyzed gas, and the second one - for supply of the agent used to clean the ionization chamber from contamination, and an electronic unit (10), which serves to tune the gas analyzer, to measure a signal of the ionization chamber and to generate control actions. In the second gas line (9) there is a source of vapours of hydrogen fluoride, at the output of which there is a stop valve (12).EFFECT: increased sensitivity of a photoionized detector of a gas analyzer by exclusion of contamination on a window and electrodes of an ionization chamber related to deposit of oxygen-containing silicon compounds.5 cl, 1 dwg Изобретение относится к приборам для измерения содержания летучих веществ в воздухе, в частности к фотоионизационным газоанализаторам. Фотоионизационный газоанализатор содержит ионизационную камеру (1), лампу вакуумного ультрафиолетового излучения (4) с окном (5) для вывода излучения в ионизационную камеру, две газовые линии (8) и (9), одна из которых служит для подвода анализируемого газа, а вторая - для подвода агента, используемого для очистки ионизационной камеры от загрязнений, и электронный блок (10), служащий для настройки газоанализатора, измерения сигнала ионизационной камеры и формирования управляющих воздействий. Во второй газовой линии (9) установлен источник паров фтористого водорода, на выходе которого установлен запорный клапан (12). Технический результат - повышение чувствительности фотоионизационного детектора газоанализатора путем исключения загрязнений на окне и электродах ионизационной камеры, связанных с отложением кислородсодержащих соединений кремния. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.