DOUBLE-SIDED INTERFEROMETER FOR MEASUREMENT OF LENGTH GAUGE RODS

FIELD: instrumentation.SUBSTANCE: double-sided interferometer comprises two lasers with stabilised emission frequency, a circular three-mirror interferometer and two applied holograms, one of which is recorded by emission of one laser, the other one - of the other laser. Applied holograms are illuminated by two light beams, which, having passed through holograms, generate an interferential picture in the form of an interferential strip of unlimited width. Three measurements of difference of phases of interfering waves are made at wavelength of radiation wave of each laser. The first measurement, when one of beams, illuminating holograms, is reflected from one measurement surface of the gauge rod installed in the circular three-mirror interferometer, the second measurement, when this light beam reflects from the second measurement surface of the gauge rod. The third measurement is performed, when this light beam passes the circular three-mirror interferometer in absence of the gauge rod in the interferometer.EFFECT: reduced dimensions of an inteferometer.8 cl, 9 dwg Изобретение относится к области для измерения концевых мер длины. Двусторонний интерферометр содержит два лазера со стабилизированной частотой излучения, кольцевой трехзеркальный интерферометр и две наложенные голограммы, одна из которых записана излучением одного лазера, другая - другого лазера. Наложенные голограммы освещаются двумя световыми пучками, которые, пройдя голограммы, формируют интерференционную картину в виде интерференционной полосы бесконечной ширины. На длине волны излучения каждого лазера выполняется три измерения разности фаз интерферирующих волн. Первое измерение, когда один из пучков, освещающих голограммы, отражается от одной измерительной поверхности концевой меры, установленной в кольцевом трехзеркальном интерферометре, второе измерение, когда данный световой пучок отражается от второй измерительной поверхности концевой меры. Третье измерение выполняется, когда данный световой пучок проходит кольцевой трехзеркальный интерферометр при отсутствии концевой меры в интерферометре. Технический результат - уменьшение габаритов интерферометра. 7 з.п. ф-лы, 9 ил.