METHOD OF PRODUCTION OF MULTI-LAYER GRADIENT COATING BY METHOD OF MAGNETRON DEPOSITION

FIELD: metallurgy.SUBSTANCE: invention relates to method of application of the gradient coatings by the magnetron deposition, in particular to application of coatings based on high-melting metals, and can be used to produce coatings with high adhesive and cohesive properties, as well as with optimal combination of strength and plasticity. On pre-cleaned surface of the metal backing the adhesive alloy of high-melting metals is applied in inert gas, and layer of nitrides of high-melting metals in gas mixture of inert and reacting gases. Content of nitrides of high-melting metals varies from 0% to 100%, holding is performed until achievement of the required thickness of the nitride layer, then it is reduced in reverse order, held until achievement of the required layer thickness of high-melting metals, and re-increased in direction to thickness of the deposited layer. For content increasing and decreasing of the nitrides of high-melting metals the reacting gas pressure is varied as per linear law from 0 to 8×10Pa, and then in reverse order.EFFECT: method produces materials with high strength characteristics and optimal combination of hardness (H>40 GPa) and plasticity (W> 70%).2 cl, 1 dwg, 2 ex Изобретение относится к способу нанесения градиентных покрытий магнетронным напылением, в частности к нанесению покрытий на основе тугоплавких металлов, и может быть использовано для получения покрытий с высокими адгезивными и когезивными характеристиками, а также с оптимальным сочетанием прочности и пластичности. На предварительно очищенную поверхность металлической подложки наносят адгезионный слой тугоплавких металлов в среде инертного газа и слой нитридов тугоплавких металлов в газовой смеси инертного и реакционного газа. Содержание нитридов тугоплавких металлов изменяют от 0% до 100%, выдерживают до получения требуемой толщины нитридного слоя, затем уменьшают в обратном порядке, выдерживают до получения требуемой толщины слоя тугоплавких металлов и вновь увеличивают в направлении толщины напыляемого слоя. Для увеличения и уменьшения содержания нитридов тугоплавких металлов давление реакционного газа изменяют по линейной зависимости соответственно от 0 до 8´10Па, а затем в обратном порядке. Способ позволяет получать материалы с высокими прочностными характеристиками и оптимальным сочетанием твердости (H>40 ГПа) и пластичности (W>70%). 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 пр.