SENSOR BASED ON SURFACE ACOUSTIC WAVES TO MEASURE CONCENTRATION OF CARBON DIOXIDE

FIELD: measurement equipment.SUBSTANCE: sensor comprises a tight body, inside of which there is a piezoelectric acoustic line, on the working surface of which there is a transceiving interdigital transducer (IDT), loaded to an antenna, which is arranged outside the tight body, a support reflecting IDT and a reflecting IDT loaded to impedance located outside the tight body, the value of which is sensitive to the measured value, and an acoustic absorber applied at the ends of the acoustic line. The impedance is made in the form of a lattice of parallel connected nanorods of zinc oxide.EFFECT: provision of maximum sensitivity of a sensor to concentration of carbon monoxide due to usage of zinc oxide rods as impedance depending on carbon monoxide concentration, with resistance close to resistance of radiation of a reflecting IDT.2 dwg Изобретение относится пьезоэлектрическим датчикам, предназначенным для дистанционного контроля различных физических и химических величин. Технический результат, который дает осуществление изобретения, заключается в обеспечении максимальной чувствительность датчика к концентрации моноокиси углерода за счет использования в качестве импеданса, зависящего от концентрации моноокиси углерода, наностержней оксида цинка, сопротивление которых близко к сопротивлению излучения отражательного ВШП. Сущность изобретения: датчик содержит герметичный корпус, внутри которого расположен пьезоэлектрический звукопровод, на рабочей поверхности которого расположены приемопередающий встречно-штыревой преобразователь (ВШП), нагруженный на антенну, которая расположена вне герметичного корпуса, опорный отражательный ВШП и отражательный ВШП, нагруженный на расположенный вне герметичного корпуса импеданс, величина которого чувствительна к измеряемой величине, и акустопоглотитель, нанесенный на торцы звукопровода. Импеданс выполнен в виде решетки параллельно-соединенных наностержней окиси цинка. 2 ил.