COMPENSATION ACCELEROMETER

FIELD: measurement equipment.SUBSTANCE: accelerometer comprises a body, the first plate from single-crystal silicon with mobile and fixed parts and elastic links that connect them along the suspension axis, a differential capacitance position converter with two fixed electrodes on the second plate, the third plate, a magnetoelectric power converter with a permanent magnet and a compensation coil installed on two supports on the mobile part, a weight on the mobile part, an amplifier. To minimise angular deformation of the mobile part in the first plate when exposed to temperature, there are slots made symmetrically on it in the area of location of supports installed symmetrically relative to the axis of suspension.EFFECT: increased accuracy of acceleration measurement.5 cl, 5 dwg Изобретение относится к измерительной технике, представляет собой компенсационный акселерометр и предназначено для использования в качестве измерительного преобразователя линейных ускорений. Акселерометр содержит корпус, первую пластину из монокристаллического кремния с подвижной и неподвижной частями и соединяющими их упругими перемычками по оси подвеса, дифференциальный емкостный преобразователь положения с двумя неподвижными электродами на второй пластине, третью пластину, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом и компенсационной катушкой, установленной на двух подставках на подвижной части, груз на подвижной части, усилитель. Для минимизации угловой деформации подвижной части первой пластины при температурных воздействиях на ней в области расположения установленных симметрично относительно оси подвеса подставок выполнены прорези. Техническим результатом является повышение точности измерения ускорения. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.