METHOD FOR PRODUCTION OF COMPOSITE METAL-CERAMIC COATING AT VALVE METALS AND THEIR ALLOYS

FIELD: electricity.SUBSTANCE: method for production of composite metal-ceramic coating at substrate of valve metal or its alloy, mainly at substrate made of aluminium, magnesium, titan, zirconium or their alloys, includes three stages. At the first stage formation of thin ceramic sublayer with thickness of 7-12 mcm is made at substrate. At the second stage formation of porous ceramic layer is made with required thickness, at that this layer consists mainly of oxides of the base material and additionally of copper and/or nickel oxides. At the third stage operation of copper and/or nickel recovery is made up to metal from their compounds in order to form metallic phase in porous ceramic layer obtained at the second stage.EFFECT: production of composite metal-ceramic coating having surface conduction.11 cl, 3 dwg, 4 ex Изобретение относится к области электролитического нанесения покрытий с помощью химических реакций на поверхности, например, формирования преобразованных слоев, а именно к процессам микроплазменного оксидирования вентильных металлов и может быть использовано для получения функциональных покрытий, в том числе электропроводных покрытий в электронике и микроэлектронике. Способ получения композиционного металлокерамического покрытия на подложке из вентильного металла или его сплава, преимущественно на подложке, выполненной из алюминия, магния, титана, циркония или их сплавов, включает три этапа. На первом этапе осуществляют формирование на подложке тонкого керамического подслоя толщиной от 7 до 12 мкм. На втором этапе осуществляют формирование на полученном подслое пористого керамического слоя требуемой толщины, состоящего преимущественно из оксидов материала основы и дополнительно из оксидов меди и/или никеля. На третьем этапе выполняют операцию восстановления меди и/или никеля до металла из их соединений для формирования в пористом керамическом слое, полученном на втором этапе, металлической фазы. Получается композиционное металлокерамическое покрытие, обладающее поверхностной электропроводностью. 10 з.п. ф-лы, 3 ил., 4 пр.