METHOD OF FORMING ARRAY OF MICROOPTICAL ELEMENTS

FIELD: physics.SUBSTANCE: method of forming an array of microoptical elements includes exposure to a focused laser beam with nanosecond pulse duration, which is scanned in the plane of contact of the back side of a glass plate, the material of which is optically transparent for the wavelength of the laser beam passing through it, with a plate made of pressed graphite, the absorption coefficient of which is greater than 0.9. The exposure is periodically interrupted with a period which sets the period of arrangement microoptical elements in the array. The period of interruption is provided by the choice of the pulse repetition frequency. After forming the array, graphite particles are removed from the surface of the array.EFFECT: avoiding use of expensive UV optical components and making a special cuvette for liquid, which complicates implementation of the method and results in additional constraints in terms of laser safety equipment.19 dwg Изобретение может быть использовано при изготовлении микрооптических элементов - основного элемента оптики и оптоэлектроники и массива из них. Способ формирования массивов микрооптических элементов заключается в воздействии сфокусированным пучком лазерного излучения с наносекундной длительностью импульса, сканируемого в плоскости контакта тыльной стороны стеклянной пластины, материал которой оптически прозрачен для длины волны проходящего сквозь нее пучка лазерного излучения, с пластиной из прессованного графита, значение коэффициента поглощения которого превышает 0.9. Воздействие периодически прерывают с периодом, задающим период размещения микрооптических элементов в массиве. Период прерывания обеспечивают выбором частоты следования импульсов. После окончания формирования массива очищают поверхность массива от частиц графита. Технический результат - отказ от использования дорогостоящей оптики УФ диапазона спектра и от изготовления специальной кюветы для жидкости, усложняющих реализацию способа и накладывающих дополнительное ограничение с точки зрения техники безопасности лазерной техники. 19 ил.