METHOD OF OBTAINING INSTRUMENT GRAPHENE STRUCTURES

FIELD: chemistry.SUBSTANCE: grapheme layer is grown on substrate-donor and then covered with film, auxiliary for grapheme layer transfer. After that, tightening frame, preventing crumpling during transfer, is created on film, auxiliary for grapheme layer transfer, or continuous strengthening film, securing mechanical integrity and preventing crumpling during transfer, is applied. Graphene layer, covered with film, auxiliary for grapheme layer transfer, is separated from substrate-donor and its transfer on substrate is carried out. After transfer of grapheme layer, covered with film, auxiliary of grapheme layer transfer, on substrate, it is pressed to substrate.EFFECT: prevention of impairment of structures and electrophysical characteristics of grapheme layers.17 cl, 2 dwg Использование: для разработки наноразмерных приборов на основе гетероструктур с использованием слоев графена и мультиграфена. Сущность изобретения заключается в том, что выращивают на подложке-доноре слой графена, который затем покрывают вспомогательной для переноса графенового слоя пленкой. После этого на вспомогательной для переноса графенового слоя пленке создают натягивающую рамку, предотвращающую сминание при переносе, или наносят сплошную упрочняющую пленку, обеспечивающую механическую целостность и предотвращающую сминание при переносе. Отделяют графеновый слой, покрытый вспомогательной для переноса графенового слоя пленкой, от подложки-донора и осуществляют его перенос на подложку. После переноса графенового слоя, покрытого вспомогательной для переноса графенового слоя пленкой, на подложку осуществляют прижим к подложке. Технический результат: предотвращение ухудшения структур и электрофизических характеристик графеновых слоев. 16 з.п. ф-лы, 2 ил.