METHOD OF HYDROGEN FLUORIDE PURIFICATION

FIELD: chemistry.SUBSTANCE: method of hydrogen fluoride purification from silicon fluoride and phosphorus includes passing a gaseous mixture, which contains fluorides of hydrogen, silicon, phosphorus, through sodium fluoride. The mixture contacts with sodium fluoride at a temperature of 20-40°C and pressure of 100-200 mm Hg until sodium polyhydrofluorides and complex fluorides of admixture elements are formed. After that, the temperature is increased to 55-70°C and the desorption of hydrogen fluoride is carried out.EFFECT: invention makes it possible to increase the efficiency of purification with obtaining hydrogen fluoride, to reduce the energy consumption due to the reduction of the process temperature.3 ex Изобретение может быть использовано в неорганической химии. Способ очистки фтористого водорода от фторидов кремния и фосфора включает пропускание газовой смеси, содержащей фториды водорода, кремния, фосфора, через фторид натрия. Смесь контактируют с фторидом натрия при температуре 20-40°С и давлении 100-200 мм рт.ст. до образования полигидрофторидов натрия и комплексных фторидов примесных элементов. После этого повышают температуру до 55-70°С и проводят десорбцию фтористого водорода. Изобретение позволяет повысить эффективность очистки с получением фтористого водорода, содержащего примеси SiFи PFне более 20 ppm, уменьшить энергозатраты за счет снижения температуры процесса. 3 пр.