MULTIFUNCTIONAL SENSORY MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM

FIELD: physics.SUBSTANCE: multifunctional sensory microelectromechanical system (MEMS) is intended for use in gas analysers, in medicine as biosensors, in microelectronics and other high-tech fields for controlling technological processes. The multifunctional sensory MEMS comprises a group of resonators attached by first ends to a first holder connected to a substrate. The resonators are not all parallel to each other. Use of a resonator which, owing to its bending through a piezoceramic can change the initial resonance frequency of a resonator parallel to it, will increase measurement accuracy owing to different initial characteristics of measurement of the presence of the same number of adsorbed particles on a layer.EFFECT: high accuracy of analysis and broader functional capabilities of the device.10 dwg Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система (МЭМС) предназначена для использования в газоанализаторах, в медицине в качестве биосенсоров, в микроэлектронике и других высокотехнологичных областях для контроля технологических процессов. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система содержит группу резонаторов, закрепленных первыми концами на первом держателе, соединенном с подложкой. Причем резонаторы не все параллельны друг другу. Использование резонатора, который за счет своего изгиба посредством пьезокерамики может изменять исходную резонансную частоту непараллельного ему резонатора, будет повышать точность измерения благодаря различным исходным характеристикам измерения наличия одного и того же количества адсорбированных частиц на слое. Технический результат изобретения заключается в повышении точности анализа и расширении функциональных возможностей устройства. 10 ил.