METHOD OF MAKING MIM-CATHODE

FIELD: physics.SUBSTANCE: invention relates to electronic engineering. The method of making a MIM cathode includes depositing, on a substrate, a lower electrode, an insulator, a top electrode and moulding the structure. A nano-needle structure is formed on the lower electrode in form of columns with density of 5·10 cmby electrochemical deposition of a metal through a pattern made of polymer film with through-pores.EFFECT: high emission current and uniformity thereof on the surface of the MIM-cathode.2 dwg Изобретение относится к области электронной техники. Способ изготовления МДМ-катода заключается в нанесении на подложку нижнего электрода, диэлектрика, верхнего электрода и формовку структуры. На нижнем электроде создается регулярная наноострийная структура в виде столбиков с плотностью 5·10 смпутем электрохимического осаждения металла через шаблон из полимерной пленки со сквозными порами. Технический результат - повышение плотности тока эмиссии и ее равномерности по поверхности МДМ-катода. 2 ил.