DEVICE FOR INSPECTING SURFACE ROUGHNESS

FIELD: physics.SUBSTANCE: device has, mounted on a board, a three-axis precision table on which there is an X-ray tube which emits in the soft X-ray range, and an ion source for cleaning the target, a monochromator chamber in which there is a monochromator and a probing beam intensity monitor, and a chamber for analysed samples in which there is a five-axis goniometer. The monochromator chamber and the chamber for analysed samples are connected to each other through a first gate; the monochromator used is a spherical Schwarzschild lens; the monochromator chamber is connected to an ion pump and the chamber for analysed samples is connected in series through a second gate to turbomolecular and forevacuum clean pumps, respectively.EFFECT: high intensity of a quasi-parallel beam of soft X-ray radiation on an analysed sample and studying roughness of samples with a curved surface.2 cl, 1 dwg Изобретение относится к использованию мягкого рентгеновского излучения для исследования сверхгладких оптических поверхностей и многослойных элементов, в частности для аттестации оптических элементов дифракционного качества. Устройство содержит установленные на плите трехкоординатный прецизионный стол с размещенными на нем рентгеновской трубкой, излучающей в мягком рентгеновском диапазоне, и ионным источником для чистки мишени, камеру монохроматора с установленными в ней монохроматором и монитором интенсивности зондирующего пучка, и камеру для исследуемых образцов с размещенным в ней пятиосным гониометром. Камера монохроматора и камера для исследуемых образцов соединены между собой через первый шибер, в качестве монохроматора использован сферический объектив Шварцшильда, камера монохроматора соединена с магниторазрядным насосом, а камера для исследуемых образцов через второй шибер последовательно соединена с турбомолекулярным и форвакуумным безмасляным насосами, соответственно. Технический результат - повышение интенсивности квазипараллельного пучка мягкого рентгеновского излучения на исследуемом образце и возможность изучения шероховатости образцов с криволинейной формой поверхности. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.