METHOD OF METALLOGRAPHIC ANALYSIS

FIELD: instrumentation.SUBSTANCE: invention relates to metallographic analysis of steel and to determination of 3D surface topography and its structure by scanning probe microscopy (SPM) Proposed method comprises grinding, polishing and chemical or electrochemical etching of steel specimen and, then, surface scanning by SPM. As said SPM can be applied nuclear power scanning, scanning tunnel and optical hear-field scanning combined with nuclear power scanning. Scanning results for metallographic conclusion, specimen structural elements are identified and classified subject to their shape and depth related with etching rate defined by their structure.EFFECT: higher resolution and precision.16 cl, 5 dwg Изобретение относится к методам металлографического анализа образцов стали и определения трехмерной топографии поверхности и ее структуры при помощи сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ). Согласно способу проводится шлифовка, полировка и либо химическое, либо электрохимическое травление образца стали, а затем сканирование поверхности образца с помощью СЗМ. В качестве СЗМ могут использоваться атомно-силовые сканирующие (АСМ), а также сканирующие туннельные (СТМ) и оптические ближнепольные сканирующие (СБОМ), совмещенные с АСМ. По результатам сканирования для металлографического заключения производится идентификация и классификация структурных элементов образца в зависимости от их формы и глубины, которые связаны со скоростью травления этих структурных элементов, определяемой их строением. Технический результат - повышение разрешающей способности, точности и информативности металлографического анализа. 15 з.п. ф-лы, 5 ил.