METHOD FOR CONTINUOUS PRODUCTION OF BEAM OF CARBORANE IONS WITH CONSTANT SELF-CLEANING OF ION SOURCE AND COMPONENT OF ION IMPLANTER EXTRACTION SYSTEM

FIELD: physics.SUBSTANCE: invention relates to cleaning surfaces of gas-filled discharge devices when coating materials with ions fed into the discharge space. The method includes feeding into an ionisation chamber a carborane-based working substance and powerful oxidising agents which react with pr...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GURKOVA EHLLA LAZAREVNA, STOROZHENKO PAVEL ARKAD'EVICH, KUJBIDA ROSTISLAV PETROVICH, ADI GERSHKOVICH, KROPACHEV GENNADIJ NIKOLAEVICH, SELEZNEV DMITRIJ NIKOLAEVICH, OKS EFIM MIKHAJLOVICH, DUGIN SERGEJ NIKOLAEVICH, KULEVOJ TIMUR VJACHESLAVOVICH, ALEKSEENKO OLEG VASIL'EVICH, GUSHENETS VASILIJ IVANOVICH
Format:	Patent
Sprache:	eng ; rus
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	FIELD: physics.SUBSTANCE: invention relates to cleaning surfaces of gas-filled discharge devices when coating materials with ions fed into the discharge space. The method includes feeding into an ionisation chamber a carborane-based working substance and powerful oxidising agents which react with products which contaminate the ion extraction system and/or the inner surface of the ionisation chamber and/or a component thereof, to form volatile compounds. The working substance used is carborane dicarboxylic acid (CHBO), in which atoms of powerful oxidising agents are embedded in the molecule of the working substance. During electric discharge, the powerful oxidising agents, upon being released from molecules of the working substance, react with products which contaminate the ion extraction system and/or the inner surface of the ionisation chamber and/or a component thereof to form volatile compounds. The volatile compounds are removed by vacuum pumping.EFFECT: high efficiency of the apparatus.3 dwg Изобретение относится к области очистки поверхностей газонаполненных разрядных приборов в процессе покрытия материалов ионами, вводимыми в разрядное пространство. Технический результат - увеличение производительности установки. В ионизационную камеру подают рабочее вещество на основе карборана и сильные окислители, которые вступают в химическую реакцию с продуктами, загрязняющими систему экстракции ионов и/или внутреннюю поверхность ионизационной камеры и/или ее компонент, с образованием летучих соединений. В качестве рабочего вещества используют карборандикарбоновую кислоту (CHBO), в которой атомы сильных окислителей включены в молекулу рабочего вещества. Сильные окислители, при электрическом разряде, высвобождаясь из молекулы рабочего вещества, вступают в химическую реакцию с продуктами, загрязняющими систему экстракции ионов и/или внутреннюю поверхность ионизационной камеры и/или ее компонент, с образованием летучих соединений, образующиеся летучие соединения удаляют вакуумной откачкой. 3 ил.