CANAL MATRIX AND METHOD OF ITS PRODUCTION

FIELD: chemistry.SUBSTANCE: in canal matrix in addition to plate of monocrystalline silicon of hole type with opened canals and deposited material on frontal surface of this plate intermediate dielectric layer of silicon dioxide is created and metal film is applied on the frontal surface of plate with opened canals which have specified diametrical dimension.EFFECT: improvement of exploitation characteristics by introduction of electrodes and application of electrokinetic and electrophysiological control, which makes it possible to extend nomenclature of membrane equipment products based on biocompatible and highly technological silicon.8 cl, 8 dwg Изобретение предназначено для использования в мембранных нанотехнологиях для производства управляемых микро- и нанофлюидных фильтров, биосенсорных устройств, приборов медицинской диагностики. Сущность изобретения: в канальной матрице помимо пластины монокристаллического кремния дырочного типа с вскрытыми каналами и осажденного материала на фронтальной поверхности этой пластины создан промежуточный диэлектрический слой двуокиси кремния и нанесена металлическая пленка на фронтальную поверхность пластины с вскрытыми каналами, имеющими заданный поперечный размер. Техническим результатом изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик за счет введения электродов и применение электрокинетического и электрофизического контроля, что позволяет расширить номенклатуру изделий мембранной техники на основе биосовместимого и высокотехнологичного кремния. 2 н. и 6 з.п. ф-лы, 8 ил.