MICROMECHANICAL ACCELEROMETER

FIELD: measurement equipment.SUBSTANCE: micromechanical accelerometer comprises a sensitive element, made of single-crystal silicon of low conductivity, an external frame with a pendulum fixed on it with the help of resilient torsions. The external frame has alternating width. In its narrow part there are U-shaped loops facing outside. The sites of fixation to glass pads on the external frame are arranged strictly on longitudinal and transverse axes of a sensitive element. In the micromechanical accelerometer there are round glass pads. This simplifies assembly and reduces labour intensiveness of the item.EFFECT: increased accuracy with simultaneous reduction of labour intensiveness without change in mass and dimension parameters.2 dwg Изобретение может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический акселерометр содержит чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, внешнюю рамку с закрепленным на ней маятником при помощи упругих торсионов. Внешняя рамка имеет переменную ширину. В узкой ее части сформированы П-образные петли, обращенные наружу. Площадки крепления к стеклянным обкладкам на внешней рамке расположены строго на продольной и поперечных осях чувствительного элемента. В микромеханическом акселерометре используются круглые стеклянные обкладки. Это упрощает сборку и снижает трудоемкость изделия. Технический результат: увеличение точности с одновременным снижением трудоемкости без изменения массогабаритных параметров. 2 ил.