TEST STRUCTURE FOR ASSESSMENT OF RADIUS OF CURVATURE OF NEEDLE EDGE OF CANTILEVER OF SCANNING PROBING MICROSCOPE

FIELD: measuring equipment.SUBSTANCE: test structure consists of base containing a near-surface layer. The near-surface layer has a relief cellular structure with dense packing. The adjacent cells have the common wall, and each cell is at least five-wall. Walls of each cell are located vertically, and the upper edges of walls of cells have a concave form. The test structure contains the edges having radius of curvature of tops of a nanometer range. Edges are executed by connection in central places of three top edges of walls of various cells. Edges at tops are executed from titanium oxide. The near-surface layer of the basis is executed from titanium. The base can be executed from titanium. The basis also can be executed in the form of a substrate, on which the film of titanium containing a near-surface layer of the basis is located.EFFECT: reproducibility increase in determination of radius of curvature of an edge of a needle in a cantilever.2 cl, 2 dwg Тестовая структура состоит из основания, содержащего приповерхностный слой. Приповерхностный слой имеет рельефную ячеистую структуру с плотной упаковкой. Соседние ячейки имеют общую стенку, а каждая ячейка является как минимум пятистенной. Стенки каждой ячейки расположены вертикально, а верхние кромки стенок ячеек имеют вогнутую форму. Тестовая структура содержит острия, имеющие радиус кривизны вершин нанометрового диапазона. Острия выполнены соединением в узловых местах трех верхних кромок стенок различных ячеек. Острия при вершинах выполнены из оксида титана. Приповерхностный слой основания выполнен из титана. Основание может быть выполнено из титана. Основание также может быть выполнено в виде подложки, на которой расположена пленка титана, содержащая приповерхностный слой основания. Технический результат - повышение воспроизводимости в определении радиуса кривизны острия иглы кантилевера. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.