SEMICONDUCTOR GAS SENSOR

FIELD: instrument making.SUBSTANCE: semiconductor gas sensor comprises a body 1 of a reaction chamber 2 made from corrosion-resistant steel. The body 1 closed at the end with a net 3 from stainless steel with wire of diameter 0.03-0.04 mm and pitch of 0.06-0.08 mm. In the body 1 in the centre of the reaction chamber 2 on contact conductors 4 there is a ball-shaped semiconductor sensitive element 5 with the help of wires of a heater 6 and a metering conductor 7. Inside the semiconductor gas sensitive element 5 there is a heater 6 in the form of a cylindrical spring, inside of which along its axis and the diameter of the ball-shaped semiconductor element 5 there is a straight metering conductor 7. The heater 6 and the metering conductor 7 of the gas sensitive element 5 are made of a platinum wire with diameter of 0.01-0.02 mm, the heater 6 has 2-7 turns of the wire, the ball-shaped semiconductor gas sensitive element 2 has the diameter of 0.4-0.8 mm and is made of the mixture of tin oxide SnO: 5-95 wt % and indium oxide InO: 5-95 wt %.EFFECT: higher sensitivity of a semiconductor gas sensor to low concentrations of gas, development of a simple, reliable, comparatively cheap and efficient sensor, capable of long-term operation in non-serviced mode.7 dwg, 3 tbl Изобретение относится к аналитическому приборостроению и может быть использовано в газоанализаторах, газосигнализаторах и газовых пожарных извещателях для контроля довзрывных концентраций взрыво-пожароопасных газов и газовых смесей. Полупроводниковый газовый сенсор содержит корпус 1 реакционной камеры 2, выполненный из коррозионно-стойкой стали. Корпус 1, с торца закрытый сеткой 3 из проволоки нержавеющей стали диаметром 0,03-0,04 мм шагом 0,06-0,08 мм. В корпусе 1 по центру реакционной камеры 2 на контактных проводниках 4 установлен шарообразный полупроводниковый газочувствительный элемент 5 при помощи проводов нагревателя 6 и измерительного проводника 7. Внутри полупроводникового газочувствительного элемента 5 размещен нагреватель 6 в виде цилиндрической пружины, внутри которой по ее оси и по диаметру шарообразного полупроводникового элемента 5 расположен прямой измерительный проводник 7. Нагреватель 6 и измерительный проводник 7 газочувствительного элемента 5 выполнены из платиновой проволоки диаметром 0,01-0,02 мм, нагреватель 6 имеет 2-7 витка проволоки, шарообразный полупроводниковый газочувствительный элемент 2 имеет диаметр 0,4-0,8 мм и выполнен из смеси оксида олова SnO: 5-95 мас.% и оксида инд