METHOD TO DETERMINE AMPLITUDE OF NANOVIBRATIONS BY SIGNAL OF LASER AUTODYNE

FIELD: measurement equipment.SUBSTANCE: method to measure amplitude of nanovibrations ?, consists in the fact that an object is illuminated with laser radiation, they convert radiation reflected from it into an electric (autodyne) signal, the signal is decomposed into a spectral row, and they measure the value of amplitude of the harmonic Sat the frequency of object oscillation ?. At the same time additional mechanical vibrations are imposed onto the object at the frequency ?with minimum amplitude, they measure the maximum value of the harmonic S, at the frequency ?as the amplitude of additional mechanical oscillations increases, they increase the amplitude of additional mechanical oscillations until there are interference maxima and minima appear on the autodyne signal on the dedicated interval of time between points that correspond to extreme positions of object displacement, they calculate the ratio of time of decay tof the autodyne signal to the time of its increase tin the dedicated interval of time. In the case when the value t/tis more than 1, they calculate t/t, on the basis of the dependence t/t(C) or t/t(C) they determine the level of the external optical feedback C, they calculate S/S, according to the dependence S/S(?, S) with the previously determined C they find ?.EFFECT: higher accuracy of measurement of amplitudes of nanovibrations.17 dwg, 1 tbl Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерений вибраций. Способ измерения амплитуды нановибраций ξ заключается в том, что освещают объект лазерным излучением, преобразуют отраженное от него излучение в электрический (автодинный) сигнал, раскладывают сигнал в спектральный ряд и измеряют значение амплитуды гармоники Sна частоте колебания объекта Ω. При этом на объект накладывают дополнительные механические колебания на частоте Ωс минимальной амплитудой, измеряют максимальное значение гармоники S, на частоте Ωпри увеличении амплитуды дополнительных механических колебаний, увеличивают амплитуду дополнительных механических колебаний до появления на автодинном сигнале интерференционных максимумов и минимумов на выделенном участке времени между точками, соответствующими крайним положениям смещения объекта, вычисляют отношение времени убывания tавтодинного сигнала ко времени его нарастания tна выделенном участке времени. В том случае, если значение t/tбольше 1, то вычисляют t/t, по зависимости t/t(C) или t/t(C) определяют уровень внешней оптической обратной связи С, вычисляют S/