IMAGING MICROELLIPSOMETER

FIELD: physics.SUBSTANCE: imaging microellipsometer consists of a coherent light source 1, a spatial filter 2, a controlled half-wave plate 3, a collimator 4, a non-polarising beam splitter 5, at least one trap-absorber 6, a microlens 7 with a frontal lens 8, an object table 9 placed under the microlens, with an object 10 placed on said object table, an image forming interference unit 11. The beam reflected from the object 10 is deflected by the beam splitter 5 to the input of the image forming interference unit 11.EFFECT: higher accuracy of determining polarisation parameters of light scattered by an object, and eliminating the effect of surface geometry on accuracy of determination.9 cl, 2 dwg Изображающий микроэллипсометр состоит из источника когерентного освещения 1, пространственного фильтра 2, управляемой полуволновой пластинки 3, коллиматора 4, неполяризующего светоделителя 5, по крайней мере, одной ловушки-поглотителя 6, микрообъектива 7 с фронтальной линзой 8, расположенного под микрообъективом предметного столика 9 с размещенным на нем объектом 10, интерференционного блока 11 формирования изображения. Отраженный от объекта 10 пучок отклоняется светоделителем 5 на вход интерференционного блока 11 формирования изображения. Технический результат - увеличение точности определения поляризационных параметров света, рассеянного объектом, и исключение влияния на точность определения геометрического рельефа поверхности. 8 з.п. ф-лы, 2 ил.