TEST OBJECT FOR CALIBRATING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPES

FIELD: physics.SUBSTANCE: invention relates to calibration of transmission electron microscopes (TEM) when taking measurements in nano- and sub-nanometre ranges. The test object is in form of a sample holder with multiple places for mounting analysed objects, in one of which there is a reference structure in form of a thin cross section of a silicon structure with a periodic relief surface, having a known interplanar distance and known dimensions of trapezoid elements of the relief.EFFECT: high accuracy of calibrating TEM, which increases accuracy measuring length of sections which characterise the profile of the relief element in a wide range of lengths using TEM, simultaneous determination of the scaling coefficient of TEM on two axes and linearity and orthogonality of said axes.9 dwg Изобретение относится к области калибровки просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ) при измерениях в нано- и субнанометровом диапазонах. Тестовый объект выполнен в виде держателя образцов с несколькими местами крепления исследуемых объектов, в одном из которых расположена эталонная структура, выполненная в виде тонкого поперечного среза кремниевой структуры с периодической рельефной поверхностью, имеющей известное межплоскостное расстояние и известные размеры трапециевидных элементов рельефа. Техническим результатом является повышение точности калибровки ПЭМ, обеспечивающее повышение точности измерений с помощью ПЭМ длин отрезков, характеризующих профиль элемента рельефа в широком диапазоне длин (0.3-2000 нм), а также одновременное определение масштабного коэффициента ПЭМ по двум осям и степени линейности и ортогональности этих осей. 9 ил.