ION IMPLANTATION UNIT CATHODE
FIELD: metallurgy.SUBSTANCE: cathode is made of alloy of copper with lead. Lead content makes 36 wt % corresponding to monotectic point of alloy with microstructure total length of interfaces on cathode 1 mmof cathode surface area making 6.5?16.0 mm/mm.EFFECT: higher wear resistance of implanted par...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; rus |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | FIELD: metallurgy.SUBSTANCE: cathode is made of alloy of copper with lead. Lead content makes 36 wt % corresponding to monotectic point of alloy with microstructure total length of interfaces on cathode 1 mmof cathode surface area making 6.5?16.0 mm/mm.EFFECT: higher wear resistance of implanted parts.4 dwg, 1 tbl
Изобретение относится к области получения мощных ионных пучков, а именно к катодам, которые могут быть использованы в установках для ионной имплантации металлов и сплавов, работающих в непрерывном и импульсном режимах. Катод выполнен из сплава меди со свинцом. Свинец содержится в количестве 36 мас.%, соответствующем монотектической точке сплава, в микроструктуре которого суммарная протяженность межфазных границ на 1 мм поверхности катода составляет 6,5...16,0 мм/мм. Технический результат - повышение износостойкости имплантируемых деталей. 4 ил., 1 табл. |
---|