METHOD OF PRODUCING POROUS ANODIC TITANIUM OXIDE

FIELD: metallurgy.SUBSTANCE: proposed method comprises formation of porous anodic oxide layer by anode oxidation of titanium specimen at controlled potential electrolysis in nonaqueous electrolyte solution. Note here that after said formation, anodic oxide is separated by electrochemical process in weak aqueous solution of inorganic acid by cathodic polarisation of titanium specimen controlled potential electrolysis. Then, secondary layer of porous anodic titanium oxide is formed under the above described conditions. Note that anodic oxidation of titanium specimen for formation of both said layers is conducted at thermal stabilisation of electrochemical reaction.EFFECT: better reproducibility of the process and high degree of nanostructure order.3 cl, 2 dwg, 1 ex Изобретение относится к области гальванотехники и может быть использовано в области наноэлектроники. Способ включает формирование слоя пористого анодного оксида анодным окислением титанового образца в потенциостатическом режиме в электролите на неводной основе, при этом после формирования слоя пористого анодного оксида проводят электрохимический процесс его отделения в слабом водном растворе неорганической кислоты катодной поляризацией титанового образца в потенциостатическом режиме, затем анодным окислением титанового образца в потенциостатическом режиме в электролите на неводной основе формируют вторичный слой пористого анодного оксида титана, при этом анодное окисление титанового образца для формирования слоя и вторичного слоя пористого анодного оксида проводят при термостабилизации зоны протекания электрохимической реакции. Технический результат: повышение воспроизводимости формирования пористого оксида титана с высокой степенью упорядоченности наноструктуры. 2 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 пр.