RESONANT SCANNER-BASED LASER SCANNING SYSTEM

FIELD: physics.SUBSTANCE: system includes series-arranged radiation source, resonant scanner with a mirror, capable of deflecting laser radiation from the radiation source with high speed to a plane perpendicular to the optical axis of the laser scanning system, and a focusing lens. The lens lies at a distance from the mirror of the resonant scanner which is equal to its focal length. Behind the lens, at a distance from its focal plane equal to 0-5% of the focal distance, there is scanning range limiter which transmits central rays and blocks peripheral rays of the laser deviated by the mirror of the resonant scanner in a transverse direction by not more than 95% of the maximum scanning angle.EFFECT: uniform distribution of energy on the processed surface.4 cl, 4 dwg Система содержит последовательно установленные источник излучения, резонансный сканер с зеркалом, способный отклонять лазерное излучение от источника излучения с высокой скоростью в плоскости, перпендикулярной оптической оси лазерной сканирующей системы, фокусирующую линзу. Линза расположена на расстоянии, равном ее фокусному расстоянию, от зеркала резонансного сканера. За линзой, на расстоянии от ее фокальной плоскости, составляющем 0-5% от фокусного расстояния, установлен ограничитель диапазона сканирования, пропускающий центральные лучи и ограничивающий периферийные лучи лазера, отклоненные зеркалом резонансного сканера в поперечном направлении более чем на 95% от максимального угла сканирования. Технический результат - обеспечение равномерности распределения энергии на обрабатываемой поверхности. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.