MANUFACTURING METHOD OF PIEZOELECTRIC PRESSURE SENSOR

FIELD: measurement equipment.SUBSTANCE: base is provided with at least two piezoelectric elements pressed with the housing with a membrane that is made with rigid centre; the housing is tightly connected to the base; after that, the membrane is leaded with excess pressure, the value of which is more than upper limit of the measured range to plastic deformation of the membrane part located between its rigid centre and outer diameter; at that, ratio of the diameter of the rigid centre to diameter of the membrane is chosen from the range that is more than 0.65, but less than 1.EFFECT: increasing sensitivity of manufactured pressure sensors and linearity of their characteristic owing to reducing parasitic rigidity.1 dwg Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к способам изготовления пьезоэлектрических датчиков давления. Способ изготовления пьезоэлектрического датчика давления заключается в том, что на основании устанавливают не менее двух пьезоэлементов, поджатых корпусом с мембраной, которую выполняют с жестким центром, осуществляют герметичное соединение корпуса с основанием, после чего нагружают мембрану избыточным давлением, величина которого больше верхней границы измеряемого диапазона, до пластической деформации части мембраны, расположенной между ее жестким центром и наружным диаметром, причем отношение диаметра жесткого центра к диаметру мембраны выбирают из диапазона больше 0,65, но меньше 1. Техническим результатом является увеличение чувствительности изготавливаемых датчиков давления и линейности их характеристики за счет уменьшения паразитной жесткости. 1 ил.