DEVICE FOR ONE-SIDED THINNING OF PLATES

FIELD: process engineering.SUBSTANCE: invention relates to abrasive processing and may be used in making micro- and optoelectronics for one-sided processing, mainly, be grinding of glass, ceramic, quartz etc plates. Proposed device comprises abrasive table with drive and self-adjusting spindle with drive articulated therewith. Said spindle is composed of face-plate with working plate fixation zones. Abrasive table is composed of face-plate with annular zone of diamond-abrasive tools secured thereon. Plate fixation zone is made of material with micro holes or pores for vacuum feed via spindle drive. Said holes are provided with vacuum-tight sleeves on one side and, on the other side, with vacuum-tight collet holder with vacuum hose.EFFECT: higher efficiency and quality.2 cl, 3 dwg, 1 tbl Изобретение относится к области абразивной обработки и может быть использовано при производстве изделий микро- и оптоэлектроники для односторонней обработки, преимущественно шлифованием и полированием, пластин стекла, керамики, сапфира, кварца, кремния, арсенида и других материалов. Устройство содержит шлифовально-полировальный стол с приводом вращения и самоустанавливающийся шпиндель 3 с шарнирно закрепленным устройством перемещения шпинделя. Шпиндель выполнен в виде планшайбы с зонами фиксации пластин рабочей стороной к поверхности планшайбы через упруго-эластичную прокладку. Шлифовально-полировальный стол выполнен в виде планшайбы с кольцевой зоной алмазно-абразивных элементов, закрепленных на ее поверхности. Зоны фиксации пластин выполнены из материала с микроотверстиями или порами для подачи вакуума через устройство перемещения шпинделя. Последнее имеет с одного конца вакуумно-плотные втулки, а с другого - вращающийся вакуумно-плотный цанговый соединитель с вакуумным шлангом. В результате повышается производительность процесса при увеличении выхода годных изделий и улучшаются геометрические параметры пластин за счет уменьшения удельных нагрузок и исключения деформации пластин. 1 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.