DETECTION DEVICE, METHOD OF ITS MANUFACTURING AND DETECTION SYSTEM

FIELD: electricity.SUBSTANCE: detection device is proposed, designed for detection of radiation, comprising the following components: a substrate; a switching element, arranged above the substrate and including many electrodes; a conducting bus arranged above the substrate and electrically connected with the first electrode from many electrodes of the switching element; and a converting element, including a semiconducting layer arranged above the switching element and the conducting bus and arranged between two electrodes, besides, one electrode of two electrodes is electrically connected with the second electrode of many electrodes of the switching element. The specified one electrode of the converting element is arranged above the switching element and the conducting bus via a gap formed between the specified one electrode and the first electrode of the switching element, or between the specified one electrode and the conducting bus, at the same time the gap is formed by removal of a film covering the conducting bus and the switching element. Also a detection system is proposed, which comprises the above described detection device and the method to manufacture the detection device.EFFECT: reduction of parasite capacitances between converting elements and switching elements or conducting buses.10 cl, 10 dwg Предложено устройство обнаружения, предназначенное для обнаружения излучения, содержащее: подложку; переключающий элемент, расположенный поверх подложки и включающий в себя множество электродов; проводящую шину, расположенную поверх подложки и электрически соединенную с первым электродом из множества электродов переключающего элемента; и преобразующий элемент, включающий в себя полупроводниковый слой, расположенный поверх переключающего элемента и проводящей шины и расположенный между двумя электродами, причем один электрод из двух электродов электрически соединен со вторым электродом из множества электродов переключающего элемента. Упомянутый один электрод преобразующего элемента расположен поверх переключающего элемента и проводящей шины через промежуток, образованный между упомянутым одним электродом и первым электродом переключающего элемента, или между упомянутым одним электродом и проводящей шиной, при этом промежуток сформирован путем удаления пленки, покрывающей проводящую шину и переключающий элемент. Также предложены система обнаружения, содержащая описанное выше устройство обнаружения и способ изготовления устройства обнаружения. Изобретение