DEVICE TO PRODUCE HIGH-FREQUENCY CAPACITANCE GAS DISCHARGE

FIELD: electricity.SUBSTANCE: device comprises a dielectric gas-filled chamber, near or inside which there are at least two pairs of parallel wire electrodes, some of which are connected to a HF-generator, remaining ones are grounded, at the same time connection of electrodes to the HF-generator and connection of remaining electrodes to grounding are done in a parallel manner, besides, electrodes connected to the HF-generator alternate via one with grounded electrodes. Each wire electrode is made in the form of a loop and is placed along the perimetre on the outer side of the dielectric gas-filled chamber. Inside the dielectric gas-filled chamber there is an additional wire electrode installed coaxially on dielectric supports.EFFECT: invention provides for spatial homogeneity and stable burning of a high-frequency gas discharge in the entire volume of a dielectric gas-filled chamber.3 dwg Устройство для получения высокочастотного емкостного газового разряда относится к плазменной технике и может быть использовано для возбуждения высокочастотного емкостного газового разряда, применяемого для обработки различных изделий высокочастотной низкотемпературной плазмой пониженного давления и в качестве активного элемента газового лазера. Заявленное устройство представляет собой диэлектрическую газонаполненную камеру, вблизи или внутри которой размещены, по меньшей мере, две пары параллельных проволочных электродов, часть которых подключена к ВЧ-генератору, оставшиеся заземлены, при этом подключение электродов к ВЧ-генератору и подключение оставшихся электродов к заземлению осуществлено параллельным способом, причем подключенные к ВЧ-генератору электроды чередуются через один с заземленными электродами. Каждый проволочный электрод выполнен в виде петли и размещен по периметру на внешней стороне диэлектрической газонаполненной камеры. Внутри диэлектрической газонаполненной камеры коаксиально установлен дополнительный проволочный электрод на диэлектрических опорах. Техническим результатом является обеспечение пространственной однородности и устойчивости горения высокочастотного емкостного газового разряда во всем объеме диэлектрической газонаполненной камеры. 3 ил.