METHOD OF MAKING ORDERED NANOSTRUCTURES

FIELD: chemistry. ^ SUBSTANCE: in the method of making ordered nanostructures, involving formation of ordered regions on the surface of a base or in its surface layer, depositing a continuous layer whose material wets the ordered regions but not the base, carrying out heat treatment, which depends on the thickness and melting point of the material of the continuous layer until formation of an array of ordered nanoclusters, after which the base is etched, wherein the array of ordered nanoclusters is a mask, or a carbon nanostructure is formed on the array of ordered nanoclusters, wherein said nanoclusters are a catalyst. ^ EFFECT: technique for producing an ordered structure with high aspect ratio of elements, which improves emission properties of the structure, enables use thereof as a die for nanoimprint lithography, improves adhesion of the ordered grown carbon nanotubes, from which there is emission of electrons to an underlying layer and, as a result, increases time stability of the entire device. ^ 5 cl, 1 dwg Применение: микро- и наноэлектроника, где упорядоченные наноструктуры могут использоваться в качестве эмиссионных катодов, штампов наноимпринтлитографии, калибраторов атомных силовых микроскопов, катализаторов для выращивания углеродных наноструктур и т.д. Сущность изобретения: в способе изготовления упорядоченных наноструктур, включающем формирование упорядоченно расположенных областей на поверхности основы или в ее приповерхностном слое, нанесение сплошного слоя, материал которого смачивает упорядоченно расположенные области и не смачивает основу, проведение термообработки, зависящей от толщины и температуры плавления материала сплошного слоя, до образования массива упорядоченно расположенных нанокластеров, после чего проводится травление основы, причем массив упорядоченных нанокластеров при этом является маской, или формируется углеродная наноструктура на массиве упорядоченно расположенных нанокластеров, причем они при этом являются катализатором. Техническим результатом изобретения является создание технологии получения упорядоченной структуры с высоким аспектным соотношением (высоты к ширине) элементов, что увеличивает эмиссионные свойства структуры, позволяет использовать ее в качестве штампа для наноимпринтлитографии, улучшает адгезию упорядоченно выращенных углеродных нанотрубок, из которых осуществляется эмиссия электронов, к нижележащему слою и, как следствие этого, увеличивает временную стабильность всего прибора. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.