INTEGRATED SENSITIVE ELEMENT OF VIBRATION GYROSCOPE

FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: integrated sensitive element of a vibration gyroscope has a glass base, a sensitive element-resonator in form of a thin-walled cylinder made from low-resistance monocrystalline silicon and an exciting and signal output circuit. Capacitive exciting and detachable transducers are in form of a comb lying on the outer side of the thin-walled cylinder, uniformly on its perimetre and on the inner side of the exciting and detachable electrodes. The technical result is achieved by simplifying the circuit and reducing errors using capacitive transducers which excite and output the signal, as well as increasing efficiency of using the capacitive transducer, creating a figure of oscillations without distortion and compensating for the effect of adverse factors. Electrodes, which are in form of a comb, increase efficiency of using the capacitive transducer. Absence of elastic coupling in the mode excitation plane enables to create a figure of oscillations without distortion. Mounting the resonator in the lower central part compensates for the effect of adverse factors. ^ EFFECT: high accuracy of the gyroscope. ^ 2 dwg Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах осциляторного типа. ! Техническим результатом является повышение точности гироскопа. Интегральный чувствительный элемент вибрационного гироскопа содержит стеклянное основание, чувствительный элемент-резонатор, выполненный в виде тонкостенного цилиндра из низкоомного монокристаллического кремния, схему возбуждения и съема сигнала. Возбуждающие и съемные преобразователи емкостного типа выполнены в виде гребенок, расположенных на внешней стороне тонкостенного цилиндра, равномерно по его периметру и внутренней стороне возбуждающих и съемных электродов. ! Технический результат достигается посредством упрощения схемы и снижения погрешности с помощью емкостных преобразователей, осуществляющих возбуждение и съем сигнала, а также повышения эффективности использования емкостного преобразователя, создания фигуры колебаний без искажения и компенсации влияния вредных воздействующих факторов. Электроды, выполненные в виде гребенок, повышают эффективность использования емкостного преобразователя. Отсутствие упругих связей в плоскости возбуждения мод позволяет создать фигуру колебаний без искажения. Закрепление резонатора в нижней центральной его части компенсирует влияние вредных воздействующих факторов. 2 ил.