PLASMA GENERATOR

FIELD: electricity. ^ SUBSTANCE: plasma generator comprises a system of parts, which is symmetrical relative to the common axis and comprises a flat reflector cathode, a circular anode, a circular magnet, a hollow cathode and a self-heating element arranged in the hollow cathode. At the same time the self-heating element is made as a ring from refractory non-magnetic material with a cavity for loading of working substance and is located near the magnet. ^ EFFECT: expanded range of technological applications of the generator and increased homogeneity of radial distribution of plasma density with low power consumption and simplicity of the generator's design, increased efficiency. ^ 1 dwg Изобретение относится к технике получения плазмы, частиц вещества, пучков ионов и электронов и может быть использовано при обработке деталей плазмой, а также в электронных и ионных источниках для нанесения покрытий, модификации поверхностей. Технический результат - расширение диапазона технологических применений генератора и увеличение однородности радиального распределения плотности плазмы при низком энергопотреблении и простоте конструкции генератора, а также увеличение производительности. Генератор плазмы содержит симметричную относительно общей оси систему деталей, включающую плоский катод-отражатель, кольцевой анод, кольцевой магнит, полый катод и самокалящийся элемент, расположенный в полом катоде. При этом самокалящийся элемент выполнен в виде кольца из тугоплавкого немагнитного материала с полостью для загрузки рабочего вещества и расположен вблизи магнита. 1 ил.