METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT AND THERMODYNAMICALLY RESISTANT MULTI-LAYER COATING ON BASIS OF HIGH-MELTING METALS AND THEIR COMPOUNDS

FIELD: metallurgy. ^ SUBSTANCE: to pre-cleaned surface of the substrate there applied are layers of coating by means of magnetron sputtering; at that, first, titanium adhesion layer is applied by magnetron sputtering of titanium target in inert gas; then, titanium nitride TiN layer is applied by sputtering of titanium target in gas mixture of inert and reaction gases; after that, alternating layers of two-component zirconium nitride ZrN are applied by sputtering of zirconium target in gas mixture of inert and reaction gases and zirconium by sputtering of zirconium target in inert gas. Then, alternating layers of three-component titanium and zirconium nitride TiZrN are applied by simultaneous sputtering of titanium and zirconium targets in gas mixture of inert and reaction gases and zirconium by sputtering of zirconium target in inert gas. ^ EFFECT: mutual location of layers in the coating provides minimum heat stresses at boundaries of layers and it is the most favourable from the point of view of coating material fatigue strength at action of dynamic thermal power loads at operation under conditions of increased temperatures. ^ 3 cl Изобретение относится к получению износостойких тугоплавких покрытий и может быть использовано в машиностроительной и добывающей промышленности, в инструментальном и ремонтном производствах для упрочнения поверхности инструмента и пар трения. На предварительно очищенную поверхность подложки наносят слои покрытия магнетронным распылением, причем сначала наносят адгезионный слой титана магнетронным распылением титановой мишени в среде инертного газа, затем наносят слой нитрида титана TiN распылением титановой мишени в газовой смеси инертного и реакционного газов, затем наносят чередующиеся слои двухкомпонентного нитрида циркония ZrN распылением циркониевой мишени в газовой смеси инертного и реакционного газов и циркония распылением циркониевой мишени в инертном газе, после чего наносят чередующиеся слои трехкомпонентного нитрида титана и циркония TiZrN одновременным распылением титановой и циркониевой мишеней в газовой смеси инертного и реакционного газов и циркония распылением циркониевой мишени в инертном газе. Взаимное расположение слоев в покрытии обеспечивает минимальные термические напряжения на границах слоев и наиболее благоприятно с точки зрения усталостной прочности материала покрытия при действии динамических теплосиловых нагрузок при работе в условиях повышенных температур. 2 з.п. ф-лы.