DEVICE FOR SPUTTERING THIN LAYERS IN MULTI-LAYER ITEMS IN VACUUM

FIELD: metallurgy. ^ SUBSTANCE: device consists of mask of ferro-magnetic material 8 placed on face side of substrate 3 and of magnet 4 with flat upper surface positioned on side of substrate 3 opposite relative to mask 8. Additionally, the device consists of case 1 with flat upper surface and flat seat 2 for substrate 3. Depth of the seat facilitates arrangement of upper surface of substrate 3 and upper flat surface of case 1 in one plane. A bottom of flat seat 2 is formed with flat upper surface of magnet 4. Stops 5 and hold-down screws 6 fixing position of substrate 3 in seat 2 are set on side surfaces of flat seat 2 along perimetre. On upper flat surface case 1 has lugs 7 fixing position of mask 8 with fitment bores 9 for lugs 7. ^ EFFECT: facilitating replacement of ferro-magnetic masks without disassembly of whole packing and magnet removal. ^ 2 dwg Изобретение относится к области производства электронных компонентов и может быть использовано, в частности, в микроэлектронике для совмещения ферромагнитных свободных масок при формировании прецизионного топологического рисунка тонких пленок органики, металлов и диэлектриков, напыляемых на пластины в вакууме. Устройство включает маску из ферромагнитного материала 8, располагаемую с лицевой стороны подложки 3, и магнит 4 с плоской верхней поверхностью, располагаемый с противоположной по отношению к маске 8 стороны подложки 3. Кроме того, устройство содержит корпус 1 с плоской верхней поверхностью и плоским гнездом 2 для подложки 3, глубина которого выполнена такой, чтобы нижняя поверхность маски 8, верхняя поверхность подложки 3 и верхняя плоская поверхность корпуса 1 были расположены в одной плоскости. Дно плоского гнезда 2 образовано плоской верхней поверхностью магнита 4. На боковых поверхностях плоского гнезда 2 по периметру выполнены упоры 5 и расположенные с противоположных сторон прижимные винты 6, фиксирующие положение подложки 3 в гнезде 2. На верхней плоской поверхности корпус 1 имеет выступы 7, фиксирующие положение маски 8, которая имеет посадочные отверстия 9 под выступы 7. Технический результат - обеспечение смены ферромагнитных масок без разборки всего пакета и снятия магнита. 2 ил.