PROCEDURE FOR PRODUCTION OF NANO STRUCTURED GRADIENT OXIDE COATING OF CATALYTIC MATERIAL BY METHOD OF MAGNETRON SPUTTERING

FIELD: metallurgy. ^ SUBSTANCE: prepared metal substrate is preliminary heated in vacuum to temperature 400-450C and sputtered with metal composition of system (Ti-Ru), (Ti-Ru-Ir), (Zr-Ru) in medium of plasma generating gas argon and reaction gas oxygen by magnetron method. Pressure of argon is maintained constant during whole process of sputtering. Also, partial pressure of oxygen is changed according to linear law from 0 to 810-2 Pa during 10 min; at stabilised pressure of oxygen the said metal composition is sputtered to specified thickness of coating. ^ EFFECT: increased strength of cohesion of coating with substrate and mechanical strength of coating proper. ^ 1 tbl, 2 ex Изобретение относится к области нанесения каталитических оксидных покрытий и может быть использовано при изготовлении электродных материалов для комплексной очистки воды и стоков, для производства хлора и хлорсодержащих соединений. Технический результат - повышение прочности сцепления покрытия с подложкой и механической прочности самого покрытия. Согласно способу подготовленную металлическую подложку предварительно нагревают в вакууме до температуры 400-450°С и осуществляют напыление магнетронным методом металлической композиции системы (Ti-Ru), (Ti-Ru-Ir), (Zr-Ru) в среде плазмообразующего газа аргона и реакционного газа кислорода. Давление аргона поддерживают постоянным в течение всего процесса напыления. При этом парциальное давление кислорода изменяют по линейному закону от 0 до 8·10-2 Па в течение 10 мин и при установившемся давлении кислорода напыляют указанную металлическую композицию до требуемой толщины покрытия. 1 табл.