SCANNING PROBE MICROSCOPE HAVING NANOTOME

FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: scanning probe microscope with a nanotome has a basic element on which there is a die holder with a holder interfaced with a first drive, a sample holder with a sample interfaced with a second drive and a scanning unit which can be interfaced with the sample. The first drive has a single-coordinate (coordinate Y) which moves die towards the sample. The second drive has one coordinate (coordinate X) which moves the sample holder with the sample perpendicular to coordinate Y. ^ EFFECT: high measurement accuracy and broader functional capabilities of the device. ^ 21 cl, 18 dwg Устройство предназначено для исследования поверхности образцов после модификации их поверхности. Сканирующий зондовый микроскоп с нанотомом включает базовый элемент, на котором установлен держатель пуансона с пуансоном, сопряженный с первым приводом, держатель образца с образцом, сопряженный со вторым приводом, и сканирующий блок, имеющий возможность сопряжения с образцом. Первый привод выполнен однокоординатным (координата Y), перемещающим пуансон по направлению в сторону образца. Второй привод выполнен однокоординатным (координата X), перемещающим держатель образца с образцом перпендикулярно координате Y. Технический результат - повышение точности измерения, расширение функциональных возможностей устройства. 20 з.п. ф-лы, 18 ил.