METHOD TO DEFINE CONCENTRATION OF ELEMENTS IN SOLID BODY

FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: solid body surface is irradiated by primary electron beam, and power spectrum of electrons escaped from solid body is registered. Note here that solid body surface with is sequentially irradiated by electron beam with stepwise increased in power in the range of (100-10000) eV to register absolute differential coefficients of electron elastic dissipation for each power magnitude in the range of dissipation angles of 90-180 at the number of angles corresponding to that of elements in solid body. Thereafter, mean concentrations of elements in escape zone and zone depth are calculated to determine distribution of concentrations over solid body surface layer. ^ EFFECT: determination of concentration in nano range without destructing analysed layer. ^ 3 dwg Использование: для определения концентрации элементов в приповерхностном слое твердого тела. Сущность заключается в том, что осуществляют облучение поверхности твердого тела первичным пучком электронов, регистрируют энергетический спектр электронов, вышедших из твердого тела, при этом последовательно облучают поверхность твердого тела с известным элементным составом пучком электронов с пошагово увеличивающейся энергией в диапазоне (100-10000) эВ и при каждом значении энергии регистрируют абсолютные значения дифференциального коэффициента упругого отражения электронов в диапазоне углов рассеяния 90-180° при количестве углов, соответствующем количеству элементов в твердом теле, далее рассчитывают средние значения концентраций элементов в зоне выхода и ее глубину, и на основании этих результатов определяют распределения концентраций элементов по глубине поверхностного слоя твердого тела. Технический результат: обеспечение возможности определения концентрации элементов с разрешением по глубине в нанометровом диапазоне без разрушения анализируемого слоя. 2 табл., 3 ил.