METHOD OF MAKING OHMIC CONTACT TO GaAs BASED ON THIN Ge AND Cu FILMS

FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: method of making an ohmic contact to GaAs based on thin Ge and Cu films involves formation a mask on the surface of an n-GaAs wafer in order to perform lift-off lithography, deposition of thin Ge and Cu films onto the surface of the n-GaAs wafer, first thermal treatment in a single vacuum cycle with the deposition process, removing the n-GaAs wafer from the vacuum chamber, removing the mask and second thermal treatment. First thermal treatment is carried out in an atmosphere of atomic hydrogen at temperature 150-460C and hydrogen atom flux density on the surface of the n-GaAs wafer equal to 1013-1016 at.cm2 s-1. ^ EFFECT: low value of the reduced contact resistance of the ohomic contacts made. ^ 4 cl, 1 dwg Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии получения дискретных приборов и интегральных схем на основе полупроводниковых соединений AIIIBV. Изобретение обеспечивает уменьшение величины приведенного контактного сопротивления изготовленных омических контактов. Сущность изобретения: в способе изготовления омического контакта к GaAs на основе тонких пленок Ge и Cu, включающем создание на поверхности пластины n-GaAs маски для реализации процесса обратной литографии, осаждение тонких пленок Ge и Cu на поверхность пластины n-GaAs, первую термообработку в едином вакуумном цикле с процессом осаждения, извлечение пластины n-GaAs из вакуумной камеры, удаление маски и вторую термообработку, первую термообработку производят в атмосфере атомарного водорода при температуре от 150 до 460°С и плотности потока атомов водорода на поверхность пластины n-GaAs, равной 1013-1016 ат·см2·с-1. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.