PROCEDURE FOR FABRICATION OF PROCESSED PRODUCT INCLUDING SILICON CONTAINING ALLOY OF NIOBIUM AND TANTALUM (ITS VERSIONS), CUPS OF DEEP DRAWING AND TARGETS OF ION SPUTTERING PRODUCED OUT OF IT

FIELD: metallurgy. ^ SUBSTANCE: there is prepared mixture of niobium and silicon powders which is successively compressed. Compressed mixture is adjoined to an electrode containing niobium. During following vacuum-arc re-melting the mixture is merged with the electrode. The melted electrode is cooled and there is formed an ingot of alloy. The ingot is thermo-mechanically processed and annealed at 950-1150 C facilitating at least 75 % of re-crystallisation. The ingot can be produced by melting niobium, by introduction from 0.1 to 100 ppm (part per million) of silicon into melt and by melt cooling. Cups of deep drawing and targets of ion sputtering are produced from this ingot. ^ EFFECT: fabrication of totally re-crystallised semi-finished product of niobium with fine and uniform by size grain. ^ 22 cl, 11 dwg, 1 tbl, 1 ex Изобретение относится к получению полуфабриката из содержащего кремний сплава ниобия. Готовят смесь, включающую порошок ниобия и порошок кремния, и прессуют. Прессованную смесь присоединяют к электроду, содержащему ниобий, проводят вакуумно-дуговой переплав так, что смесь смешивается с расплавленным электродом, охлаждают расплавленный электрод с формированием слитка сплава, подвергают слиток термомеханической обработке и отжигу при 950-1150°С с обеспечением по меньшей мере 75% рекристаллизации. Слиток может быть получен путем получения расплава ниобия, введения в расплав от 0,1 до 100 чнм кремния и охлаждения расплава. Из полученного полуфабриката изготавливают чаши глубокой вытяжки и мишени ионного распыления. Способ позволяет получить полностью рекристаллизованный полуфабрикат ниобия с мелким и однородным размером зерна. 6 н. и 16 з.п. ф-лы, 11 ил., 1 табл.