MULTI-AXIAL INTEGRAL MICROMECHANICAL TUNNEL-TYPE ACCELEROMETRE

FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: proposed accelerometre 1 comprises substrate 1, displacement converter 2, inertial weight 3, active suspension zones 4 and 9, passive suspension zone 5, stationary electrode 6, moving electrode 7, as well as two additional suspensions with active zones 15, 16 and 23, 24, respectively, and with passive zones 17 and 25, respectively, two additional inertial weights 13 and 21, two additional stationary electrodes 11 and 19, two additional moving electrodes 12 and 20 and two additional tunnel-type converters 34 and 35 of displacement converters. Displacement converter 2 represents a tunnel contact formed by stationary electrode 6 made up of cylindrical shell rigidly secured relative to substrate 1. ^ EFFECT: possibility to measure simultaneously three mutually perpendicular components of acceleration. ^ 3 dwg Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Акселерометр содержит подложку 1, преобразователь перемещения 2, инерционную массу 3, активные области подвеса 4 и 9, пассивную область подвеса 5, неподвижный электрод 6, подвижный электрод 7, а также два дополнительных подвеса с активными областями 15, 16 и 23, 24 соответственно и с пассивными областями 17 и 25 соответственно, две дополнительные инерционные массы 13 и 21, два дополнительных неподвижных электрода 11 и 19, два дополнительных подвижных электрода 12 и 20 и два дополнительных туннельных преобразователя перемещения 34 и 35. Преобразователь перемещения 2 представляет собой туннельный контакт, образованный неподвижным электродом 6, который представляет собой цилиндрическую оболочку, жестко закрепленную относительно подложки 1. Изобретение позволяет одновременно измерить три взаимно перпендикулярные составляющие ускорения. 3 ил.