FINELY DISPERSED LEAD-ZIRCONIUM TITANATES, ZIRCONIUM TITANATE HYDRATES AND ZIRCONIUM TITANATES AND PRODUCTION METHOD THEREOF

FIELD: chemistry. ^ SUBSTANCE: invention can be used in microelectronics industry. To obtain zirconium titanates, zirconium compounds react with titanium dioxide particles, having BET specific surface area greater than 200 m2/g. To obtain lead-zirconium titanates, lead and zirconium compounds react with titanium dioxide particles with BET specific surface area greater than 200 m2/g. Content of halides in the titanium dioxide particles used is less than 1000 parts per million in terms of TiO2. The lead-zirconium titanates are ground and then pressed to form green moulds or processed into a film, after which they are sintered to obtain microelectronic articles. ^ EFFECT: invention enables to obtain finely dispersed, well sintered zirconium titanates or lead-zirconium titanates. ^ 47 cl, 11 ex Изобретение может быть использовано в микроэлектронной промышленности. Для получения титанатов циркония соединения циркония приводят во взаимодействие с частицами диоксида титана, имеющими удельную площадь поверхности по БЭТ более 200 м2/г. Для получения титанатов свинца-циркония осуществляют взаимодействие соединений свинца и циркония с частицами диоксида титана с удельной площадью поверхности по БЭТ более 200 м2/г. Содержание галогенидов в используемых частицах диоксида титана менее 1000 ч/млн в расчете на TiO2. Титанаты свинца-циркония измельчают и затем прессуют с образованием неспеченных формовок или перерабатывают в пленку, после чего спекают с получением микроэлектронной детали. Изобретение позволяет получить тонкодисперсные, хорошо спекаемые титанаты циркония и титанаты свинца-циркония. 10 н. и 37 з.п. ф-лы.