METHOD FOR SYNTHESIS OF POLYCRYSTALLINE SILICON
FIELD: chemistry. ^ SUBSTANCE: invention can be used in production semiconductor materials, solar cells and in microelectronics. Silicon is deposited on substrates made from pure silicon, which are pre-heated with high frequency current. ^ EFFECT: obtaining highly pure silicon. ^ 2 cl, 2 dwg Изобрет...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; rus |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | FIELD: chemistry. ^ SUBSTANCE: invention can be used in production semiconductor materials, solar cells and in microelectronics. Silicon is deposited on substrates made from pure silicon, which are pre-heated with high frequency current. ^ EFFECT: obtaining highly pure silicon. ^ 2 cl, 2 dwg
Изобретение может быть использовано в производстве полупроводниковых материалов, солнечных элементов и микроэлектронике. Кремний осаждают на предварительно нагретые высокочастотным током подложки из чистого кремния. Изобретение позволяет получать кремний высокой чистоты. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. |
---|