METHOD FOR SYNTHESIS OF POLYCRYSTALLINE SILICON

FIELD: chemistry. ^ SUBSTANCE: invention can be used in production semiconductor materials, solar cells and in microelectronics. Silicon is deposited on substrates made from pure silicon, which are pre-heated with high frequency current. ^ EFFECT: obtaining highly pure silicon. ^ 2 cl, 2 dwg Изобрет...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: PAVLOVA MARINA LEONIDOVNA, IVANOV NIKITA ALEKSANDROVICH, LOPATIN VLADIMIR VASIL'EVICH, SOLDATOV ALEKSEJ IVANOVICH
Format: Patent
Sprache:eng ; rus
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:FIELD: chemistry. ^ SUBSTANCE: invention can be used in production semiconductor materials, solar cells and in microelectronics. Silicon is deposited on substrates made from pure silicon, which are pre-heated with high frequency current. ^ EFFECT: obtaining highly pure silicon. ^ 2 cl, 2 dwg Изобретение может быть использовано в производстве полупроводниковых материалов, солнечных элементов и микроэлектронике. Кремний осаждают на предварительно нагретые высокочастотным током подложки из чистого кремния. Изобретение позволяет получать кремний высокой чистоты. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.